品牌:高真空蒸发镀膜仪
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电压
输入：208-240VAC,20A,50/60Hz,单相(<3200W)
输出：0-8VAC（可调）zui大电流：400A（可调）
zui大功率：4000W（包括真空泵）
真空腔体
不锈钢腔体：280mmID.x375mmH，腔体内壁做了电抛光处理
有一个150mm的观察窗口（采用无氧铜密封圈密封）
一个RF-150法兰，便于放入样品。
一个KF-40法兰,可与真空泵相连接
四个CF-35法兰，便于安装真空计、电极和其他用途备用
真空泵
（点击图片查看详细资料）
仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵和前级泵
前级泵抽速：600L/S
真空度：5.0x10-6torr（泵开启后40分钟）
极限真空度：5.0x10-7torr（烘烤温度为60-80℃）
漏气率：5.0x10-7Pa./S
蒸发加热源样品台
5个水冷电极安装在腔体底部，可支持4个钨加热舟
每个钨舟上面安装有可移动的挡板，所以实验时可以防止各物料之间的污染，样品台安装在真空腔体顶部，直径为150mm
样品台可以旋转和加热，旋转速度0-20rpm，加热zui高温度600℃
蒸发源与样品台的距离为250mm
测厚仪
一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部
测量精度为：1.0Å
循环水冷机
仪器使用过程中需要通冷却水，为了节约用水，强烈建议使用循环水冷机
所需水流量>15L/min
控制单元
真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内
控制单元和真空腔体**立分开，以便于操作
外形尺寸
L600mm×W860mm×H1500mm
净重
600kg
质保
一年质保期，终生维护
质量认证
CE认证
本产品信息由中美合资合肥科晶材料技术有限公司整理发布，更多关于高真空蒸发镀膜仪的信息请访问：
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